ヘール加工とは、ヘールバイトを用い高気密パッキン溝を加工する加工方法。ヘール加工専用の制御システムを搭載することで、ヘールバイトを使用したシール面加工が可能になり、仕上げ作業を簡略化、または省略することが出来る。
刃先が直線であることが特徴で、ワークへのビビリや食い込みなどを抑制する必要がありシャンク部をバネ状にしたものや、近年では素材の剛性等がより良くなったため、より硬い素材を使った直線型のバイトも増えている。
このヘールバイトを、ドリルやエンドミルのように回転させずに、進行方向に刃先を真っすぐ動かして加工する。

様々な分野で真空が必要

今日における半導体製造に用いられる各基本プロセスでは真空状態が広く利用されている。
プラズマ放電、イオン化、スパッタリングといった加工工程が真空中で行われるためである。
真空は低真空から超高真空まで区分されており、半導体製造に用いられるのは高真空と超高真空の中間程度までである。

真空チャンバーには材質違いが

真空チャンバーには様々な材質がある。
材質選定には耐久性や耐腐食性など、強度が重要となります。ステンレス鋼が多く使用されるが、アルミニウムやチタンなども選択されるケースもある。
機密性の高さは、シール面や接合部の設計、加工精度などによって大きく左右される。

回転工具による溝加工で生じる円弧状のツールマークは、空気の流路となってしまうため、気密性が重要になる真空機器部品のシール面には使用できない。
一般的にはそのツールマークを消す為に熟練作業者が手加工で「みがき」工程を行う。
「みがき」工程の手間を減らすという狙いから、平らなバイトを横方向に動かして加工を行う「ヘール加工」によりツールマークの方向を変えるのだが、カーブ手前で「筋模様（ビビり）」が入る事が多く、「みがき」工程はやはり必須になってしまうのが難点である。

エンドミル加工

ヘール加工